広領域真空計

製品一覧

特　徴

• 低真空の領域ではピラニ真空計の回線が動作しLow Vacuumの測定が行われます。更にこのピラニ真空計は電離真空計の保護回路を兼ねるので、一気圧からスイッチを入れても真空装置のリークによる電離測定球のフィラメントを断線する事はありません。
• 高真空の領域では自動的にピラニ真空計より電離真空計への切換が行われHigh Vacuumの測定が行われます。
• 高真空領域の測定中に何等かの原因で圧力が低真空領域へ落ちる様な場合には自動的に電離真空計からピラニ真空計への切換が行われ、電離測定球のフィラメントを断線する事がありません。なお、アイオニー側にも保護回路が内蔵されております。
• 操作は簡単で、スタビライザーを内蔵しているので動作は極めて安定しております。
• ピラニ真空計と電離真空計を各々独立に使用する事も可能です。
• 外部制御回路が内蔵しているタイプは任意の圧力値に応じて外部へ信号を流すことができますので、電磁バルブの開閉、真空蒸着等のヒーターの点火、又は圧力制御等を自動的に行うことに使用できます。

用　途

• 広範囲の圧力値を必要とするあらゆる真空排気システムにご利用できます。
• 本計器は真空装置が使用中リークの膚ある場合、或は研究室、工場等で真空計の操作を怠りがちな場合等に極めて便利です。

※ラックマウント式のパネルタイプもそろえております。